Características do sistema

Alta flexibilidade

Muitas configurações

Fácil Manutenção

Controle Automático

Descrição

Equipamento híbrido OVD – PECVD

PowerFlex1100 CR é uma máquina de alto desempenho projetada para aplicações tanto decorativas como técnicas.
PowerFlex1100 CR é um sistema de revestimento de alto vácuo compacto e “híbrido”, que utiliza tanto tecnologia PVD como PECVD, tem as dimensões justas de plasma útil para uma alta produtividade de objetos de tamanho médio-grande, e garantindo um perfeito controle do processo e uma uniformidade excelente; uma tecnologia PECVD única fornece uma produtividade excepcional.

Característas principais:

  • Revestimentos Decorativos e técnicos
  • Soluções personalizadas
  • Revestimentos híbridos
  • Duas portas
  • Otimização do processo
  • Câmara de processo

    Material: aço inoxidável

    Tamanho da câmara: ø 1210 x 1560 mm

    Placa giratória: placa giratória inferior removível

  • Sistema de bombeamento

    Bombas secas

     

    Turbo molecular

  • Tecnologias

    Arco catódico

    Magnetron sputtering

    Dual magnetron sputtering

    Plasma beam source

    Outras, sob demanda

    Hipims

  • Controle

    Computador industrial com características de diágnostico

    Medidores de fluxo de massa de gás

  • Sistema de segurança

    Numerosos bloqueios de segurança para proteger operadores e equipamento