CARACTERÍSTICAS DEL SISTEMA

Alta flexibilidad

Muchas configuraciones

Interfaz con otros sistemas

Puerta de carga en la parte superior

Descripción

Sistema híbrido PVD – PECVD

El Nanoflex 400 es un equipo compacto para aplicaciones tanto decorativas and técnicas.

Con una cámara de Ø 1000 x 550 mm y una altura de deposición de 400 mm, se optimiza la producción de objetos de tamaño pequeño y mediano.

El Nanoflex 400 pertenece a una serie de máquinas flexibles.

La alta flexibilidad es una de sus características más importantes. De hecho, en la cámara de la máquina, es posible instalar distintos tipos de fuentes: Arco catódico, Pulverización magnetrónica (en diferentes configuraciones, magnetrones equilibrados, no equilibrados, DMS, HiPiMS -pulverización magnetrónica de impulso de alta potencia-) y Fuente de plasma.

Todas las tecnologías se pueden proporcionar directamente antes de la instalación o como una modernización.

Características principales:

  • Recubrimientos decorativos y técnicos
  • Optimización del proceso
  • Fácil mantenimiento
  • Recubrimientos híbridos
  • Carga por la parte superior
  • Cámara de proceso

    • Material: Acero inoxidable
    • Tamaño de la cámara: Ø 1000 x 550 mm
    • Placa giratoria: en la parte inferior
    • Carga: desde la parte superior
  • Sistema de bombeo

    Bombas secas turbomoleculares

  • Tecnologías

    Arco catódico Pulverización magnetrónica Pulverización magnetrónica dual Fuente de plasma HIPIMS

  • Control

    Ordenador industrial con características de diagnóstico Medidores del flujo másico de gas

  • Sistema de seguridad

    Muchos enclavamientos de seguridad para proteger a los operadores y al equipo.